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我國科學(xué)家突破!8英寸硅基氮極性氮化鎵襯底全球首創(chuàng)成功

   發(fā)布時間:2025-03-24 10:06 作者:馮璃月

近日,九峰山實驗室在氮化鎵(GaN)材料領(lǐng)域取得了突破性進展,通過其官方公眾號發(fā)布了一系列重要成果。此次發(fā)布的亮點涵蓋了國際首創(chuàng)的8英寸硅基氮極性氮化鎵襯底(N-polar GaNOI)、全國首個100nm高性能氮化鎵流片PDK平臺,以及成功實現(xiàn)20米遠距離的動態(tài)無人終端無線能量傳輸示范驗證。

氮化鎵,作為第三代化合物半導(dǎo)體材料的杰出代表,因其卓越的物理性能和廣泛的應(yīng)用前景,正在全球范圍內(nèi)引領(lǐng)一場技術(shù)革命。從消費電子產(chǎn)品中的小巧高效GaN充電器,到無線通信、衛(wèi)星通信、雷達與導(dǎo)航等高端應(yīng)用,氮化鎵正成為多個行業(yè)的核心驅(qū)動力。

在8英寸硅基氮極性氮化鎵襯底方面,九峰山實驗室的技術(shù)成果打破了國際技術(shù)壟斷。該成果首次在8英寸硅襯底上成功制備出氮極性氮化鎵高電子遷移率功能材料(N-polar GaNOI),相較于傳統(tǒng)的鎵極性氮化鎵,氮極性氮化鎵在高頻、高功率器件領(lǐng)域展現(xiàn)出更明顯的技術(shù)優(yōu)勢。這一突破不僅體現(xiàn)在成本控制上,通過采用硅基襯底并兼容主流半導(dǎo)體產(chǎn)線設(shè)備,還實現(xiàn)了材料性能的提升和良率的顯著提高。

九峰山實驗室還推出了國內(nèi)首個100nm硅基氮化鎵商用工藝設(shè)計套件(PDK)。這一PDK為芯片設(shè)計者提供了關(guān)鍵信息,包括工藝參數(shù)、器件模型和設(shè)計規(guī)則,加速了從電路設(shè)計到實際制造的轉(zhuǎn)化過程。該PDK的核心技術(shù)優(yōu)勢在于跨代際開發(fā)、高性能和低成本。通過跳過150nm以下節(jié)點并采用100nm柵長技術(shù),顯著提升了器件的截止頻率,使其能夠覆蓋更廣泛的毫米波頻段應(yīng)用。同時,通過外延和器件結(jié)構(gòu)設(shè)計,有效提高了器件效率,降低了功耗。

在無線能量傳輸方面,九峰山實驗室基于自主研發(fā)的氮化鎵器件,成功構(gòu)建了動態(tài)遠距微波無線傳能系統(tǒng),并在20米范圍內(nèi)實現(xiàn)了對無人機的動態(tài)無線供能示范驗證。這一技術(shù)突破了傳統(tǒng)無線充電的距離限制,解決了接收端功率波動和能量轉(zhuǎn)換效率低的難題,為多個領(lǐng)域提供了創(chuàng)新性技術(shù)儲備。該技術(shù)的應(yīng)用前景廣泛,包括物流、農(nóng)業(yè)、工業(yè)4.0和智能家居等領(lǐng)域。

微波無線傳能作為一種新型的無線能量傳輸方式,通過電磁波遠距離傳輸能量,具備構(gòu)建全域能源網(wǎng)絡(luò)的巨大潛力。九峰山實驗室的這一成果標(biāo)志著我國在高頻高功率無線傳能領(lǐng)域的探索邁入了新階段,為未來多個領(lǐng)域的應(yīng)用奠定了堅實基礎(chǔ)。

 
 
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